金融界2025年8月5日消息，国家知识产权局信息显示，清华大学;华海清科股份有限公司申请一项名为“一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载装置”的专利，公开号CN120395677A，申请日期为2019年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载装置，包括承载头和上部气动组件，所述承载头通过连接组件耦接至所述上部气动组件，所述连接组件包括定位销和具有定位销孔的法兰盘，所述定位销和法兰盘由金属材料制成，所述定位销的部分或全部表面设置有非金属结构使得所述定位销与所述法兰盘接触不产生金属污染物。
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